Le nitrure d'aluminium : de la poudre au substrat - Archive du Journal de Physique
Journal Articles Journal de Physique III Year : 1993

Le nitrure d'aluminium : de la poudre au substrat

J. Jarrige
  • Function : Author
J. Mexmain
  • Function : Author
M. Oumaloul
  • Function : Author
R. Bachelard
  • Function : Author
J. Disson
  • Function : Author

Abstract

Le nitrure d'aluminium est le matériau appelé à remplacer l'alumine ou l'oxyde de béryllium en tant que substrat dans les circuits de puissance en microélectronique. La poudre utilisée préparée par carbonitruration a été mise en suspension dans le milieu azéotropique butanone-2-éthanol en présence d'un ester phosphorique. Conductivité, sédimentation, viscosité ont permis d'appréhender les phénomènes qui permettent de défloculer la suspension. La stabilité est assurée par un mécanisme électrostatique ayant une contribution stérique. Le nitrure est coulé en bande puis fritté à 1 850 °C sous azote. La qualité et la faible teneur du liant permettent de l'éliminer dans le même four à 650 °C. Les conductivités thermiques des substrats sont comprises entre 160 et 200 W/m.K.
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Dates and versions

jpa-00248951 , version 1 (04-02-2008)

Identifiers

Cite

J. Jarrige, J. Mexmain, M. Oumaloul, R. Bachelard, J. Disson. Le nitrure d'aluminium : de la poudre au substrat. Journal de Physique III, 1993, 3 (4), pp.703-712. ⟨10.1051/jp3:1993106⟩. ⟨jpa-00248951⟩

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